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CVD Chemical Vapor Deposition = Chemische Ablagerung aus Verdampfung

Hochleistungs-CVD-Anlage

CVD Schichten werden aus gasf├Ârmigen, d.h. leicht verdampfbaren Metallverbindungen abgeschieden (Chemical Vapor Deposition). Die Abscheidung der Schicht kann auch in komplexen Innengeometrien erfolgen, die ├╝ber andere Beschichtungsverfahren nicht erreichbar sind.

Ein typisches Anwendungsgebiet ist Gasturbinenschaufeln mittels Alitierschichten (=Aluminiumdiffusionsschichten) vor Oxidation und Hei├čgaskorrosion zu sch├╝tzen .

Diese wird durch Abscheiden von Aluminium und Eindiffundieren in das Substrat erzeugt. Die so erzeugten Schichtdicken liegen im Bereich von 20┬Ám-150┬Ám wobei ein selektives Beschichten der Bauteile m├Âglich ist.

Hochleistungs-CVD-Anlage

zur Innen- und Au├čenbeschichtung von Turbinenschaufeln (s. Abb.) 
2 Retorten / bzw. Retortenpl├Ątze f├╝r erh├Âhten Durchsatz 
Nutzvolumen 600 Liter 
Interne Generatoren f├╝r hochaktive Prozesse 
Separate Zuf├╝hrung f├╝r getrennte Innen- und Au├čenbeschichtung