CVD Schichten werden aus gasförmigen, d.h. leicht verdampfbaren Metallverbindungen abgeschieden (Chemical Vapor Deposition). Die Abscheidung der Schicht kann auch in komplexen Innengeometrien erfolgen, die über andere Beschichtungsverfahren nicht erreichbar sind.

Ein typisches Anwendungsgebiet ist Gasturbinenschaufeln mittels Alitierschichten (=Aluminiumdiffusionsschichten) vor Oxidation und Heißgaskorrosion zu schützen .

Diese wird durch Abscheiden von Aluminium und Eindiffundieren in das Substrat erzeugt. Die so erzeugten Schichtdicken liegen im Bereich von 20µm-150µm wobei ein selektives Beschichten der Bauteile möglich ist.

Hochleistungs-CVD-Anlage

zur Innen- und Außenbeschichtung von Turbinenschaufeln (s. Abb.) 
2 Retorten / bzw. Retortenplätze für erhöhten Durchsatz 
Nutzvolumen 600 Liter 
Interne Generatoren für hochaktive Prozesse 
Separate Zuführung für getrennte Innen- und Außenbeschichtung